红外辐射显微成像系统（微观温度分布成像）

红外辐射显微成像系统（微观温度分布成像）

IRLabs的IREM-IV红外显微镜系统使您能够更快、更准确、更可靠地进行半导体故障分析和调试。

IREM-IV相机提供超低噪声扩展波长PEM成像，在工作电压为400 mV的10 nm设备上具有经验证的发射成像灵敏度。自行设计和制造的相机，用于低维护操作，具有卓越的功能，包括6位透镜转盘和超过20小时的LN2持续制冷时间。光学扩展端口为外部激光扫描OBIRCH、LADA、TIVA和其他成像模式提供了升级路径。

3.3NA SIL物镜是定制设计的透镜家族中的新产品，经过优化，可在整个视场上提供卓越的衍射限制成像。自对准SIL尖端可自动调平，以符合被测设备的局部轮廓。独特的尖端弯曲设计提供了低的接触力，因此适用于成像安装器件或裸晶圆。

集成轮廓传感器，测量器件表面轮廓，高度分辨率优于10 um。使用与精密x-y-z平台集成的尖端倾斜台，可以直接测量和补偿从翻转边缘或器件弯曲产生的局部表面倾斜。跟自对准SIL尖端相结合，以实现安全可靠的SIL成像。

扩展波长PEM成像通常是热背景噪声受限的。IREM-IV提供两个内部冷却的滤光轮，因此光谱滤光器或背景限制孔径适用于任何测量场景。

红外辐射显微成像系统（微观温度分布成像）指标参数：

相机                                                                                                       运动系统

●   1016×1016 液氮制冷MCT阵列                                                          ●   25nm分辨率

●   像元尺寸 18um                                                                                 ●   100mm运动范围 （X-Y-Z）

●   400-2500nm 光谱响应范围                                                               ●    阻尼振动隔离

●   6个位置自动物镜转盘                                                                         ●    电动样品尖端倾斜选项

●   6个位置制冷滤光片/孔径转轮

●   大于20小时液氮维持时间

系统尺寸

●   显微镜   810mm x 876mm x 813mm， 160kg

●   控制系统  610mm x 1283mm x 762mm，90kg

物镜选项：

参考图例

**详细技术参数可参考Datasheet或咨询上海昊量光电设备有限公司。

更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电

关于昊量光电：

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