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洁净厌氧高温气氛炉DTN430C

参考报价: 500000 RMB(人民币) 型号: DTN430C
品牌: 雅马拓 产地: 日本
关注度: 23 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
供应商性质一般经销商产地类别进口
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洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。


特点

● 最高工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm,主要应用于固化半导体晶圆(光刻胶PI、PBO固

化)、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。

● 采用耐热高性能高效过滤器,箱内洁净度始终保持在100级,可在洁净的环境下进行高温烘烤。

● 高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2消耗量极低。

● 通过磁密封保持高气密性,并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

● 可实现快速升温和降温,升降温速率可调节。

● 标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收。

● 液晶触摸屏操作,自动/手动两种运行模式。

安全性

● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。


规格:

型号

DTN430C

DTN630C

DTN450C

DTN650C


方式

氮气置换+ 强制送风循环





性能

使用温度范围

室温+50~360℃

室温+50~500℃



温度调节精度

±0.5℃(at360℃)

±1.0℃(at500℃)




温度分布精度

±5.0℃(at360℃)

±8.0℃(at500℃)




最高温度到达时间

约80分钟

约110分钟




氧浓度

20ppm 以下





氧浓度到达时间

≤ 20分(250L/min 氮气)

≤ 25分(250L/min 氮气)

≤ 20分(250L/min 氮气)

≤ 25分(250L/min 氮气)


洁净度

温度恒定时100级

 





构成

内装

不锈钢板




外装

冷轧钢板,表面耐药品性涂装





断热材

硅酸铝棉





加热方式

不锈钢加热管





加热功率

主加热器

6.75KW

9KW

9.5KW

14.2KW

N2预热

1KW





冷却机构

不锈钢冷却水换热器





HEPA过滤器

集尘效率:0.3um粒子99.97%以上





控制器

温度控制方式

PID控制




温度控制器

液晶触摸屏+PLC





运行功能

手动定值运行、自动程序运行





程序模式

程序运行9个,每个程序可设置9步(可扩展)





附加功能

操作员等级认证





加热器回路控制

SSR驱动





传感器

K型热电偶(温度控制及过升防止器)





安全装置

门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、

风机过载检测、过电流漏电保护开关等





规格

内尺寸(宽×深×高mm)

450×450×450

660×500×660

450×450×450

660×500×660

外形尺寸(宽×深×高mm)

1090×950×1540

1300×1000×1750

1240×1010×1750

1450×1060×1960


内容积

91L

216L

91L

216L


棚板层数/层间距

12层/30mm

19层/30mm

12层/30mm

19层/30mm


排气口

40KF法兰





氮气入口

Rc1/2





冷却水入口

Rc3/4





热水出口

Rc3/4,2个





电源(50/60Hz)额定电流

3相AC380V 16A

3相AC380V 19A

3相AC380V 20A

3相AC380V 27A


重量

约900kg

约1100kg

约900kg

约1100kg


选购品

棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯(待机/ 运行/ 故障)、以太网通信功能






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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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