URE-2000A型紫外掩膜式光刻机 资料.pdf

一、URE-2000A型紫外掩膜式光刻机技术参数

1. 曝光面积：150mmX150mm

2. 曝光波长：365nm

3. 分辨率：0.8~1μm （胶厚 2μm的正胶）；

4. 对准精度：±0. 6μm

5. 掩模样片整体运动范围：X：15mm; Y：15mm

6. 掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸；

7. 样片尺寸：直径φ15mm~φ150mm（各种不规则片）；厚度 0.1mm~5mm(可拓展至 15mm)；

8. 曝光方式：定时（倒计时方式），0.1s~9999s

9. 具备真空接触曝光、硬接触曝光 、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能；

10. 照明不均匀性： 2.5%（φ100mm 范围）；5%（φ150mm 范围）；

11. 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+ 显示器对准，光学合像，光学最大倍数 400 倍，光学+电子放大800倍；

物镜三对：4  倍、10  倍、20 倍

目镜三对：10  倍、16  倍、20 倍

12. 调平接触压力通过传感器保证重复；

13. 数字设定对准间隙和曝光间隙；

14. 具备压印模块接口，也具备接近模块接口；

15. 掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm;  Y: ±5mm;  θ: ±6 度

16. 最大胶厚：500μm(SU8胶)

17. 光源平行性：2°

18. 曝光能量密度：>18mW/cm2

19. 冷却方式：循环水+风冷

20. 曝光面温度：<30 °C

21. 汞灯功率：1000W（直流， 进口汞灯）

22. 外形尺寸：1400mm（长）×1200mm(宽) ×1950mm（高）

二．URE-2000A型紫外掩膜式光刻机配置：

【曝光头】

1. 冷光椭球镜

2. 1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)

3. XYZ 汞灯调节台

4. 冷却风扇

5. 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜①、准直镜镜②、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场镜①、场镜 ②、冷光反射镜 ①、反射镜 ②

6. 循环水冷系统

【对准工件台】

1. 掩模样片整体运动台

2. 掩模样片相对运动台

3. 转动台

4. 样片调平机构,自动完成

5. 样片调焦机构，自动调

6. 承片台 4 个（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）

7. 掩模夹 4 个（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）

8. 基片抽拉式上下片机构

【对准显微镜】

1. 光源（配备品 2 只）、电源

2. 双目双视场对准显微镜主体

3. 目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）

4. 物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）

【CCD 对准系统(选配)】

1. 光源（配备品 3 只）、电源

2. 成像光学系统（两套）

3. 数据采集卡

4. 三维工件台（两套）

5. CCD（2 只）

【电控系统】

1. 汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)

2. 单片机控制系统

3. 控制柜桌

4. 计算机系统及液晶显示器

【气动系统】

1. 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

2. 电磁阀驱动

3. 气动仪表

【其他附件】

1. 真空泵一台（无油泵）

2. 空压机一台（静音泵）

3. 管道

【技术资料】

1. 使用维修说明书

2. 显微镜使用说明书