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磁场成像显微镜系统 Magma EFI

tel: 400-6699-117 9349

Neocera磁力/磁场成像显微镜, 新型半导体失效分析工具,拥有独特的传感器和技术,可以检测和定位所有静态缺陷。EFI工具:能够以极高的精确度检测失效的开路故障

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仪器参数

特点

详情

SQUID 传感器

短路缺陷定位  (SQUID)

3um

空间分辨率 (SQUID)

2um

总扫描面积 (SQUID)

至少 100mm by   100mm

当前灵敏度 (SQUID)

·  500nA @ 333um

·  1.5uA @ 1000um

磁敏感性 (SQUID)

15 pT/√Hz Typical

成像深度(SQUID)

10mm

工作频率 (SQUID)

DC to 25kHz

Opens 断路

断路缺陷定位 (SDR)

30um

成像深度 (Opens)

<500um

工作频率 (Opens)

20MHz to 200MHz

其他参数

功能发电机

±10V @ 100mA

功能发电机频率

DC to 200kHz

镜头分辨率

2um (in NIR or   Visible)

电源

·  110 - 120V @   20A

·  220 - 240V@ 10A

操作系统

Windows 10 64-bit

 

产品应用

1、该仪器可以完整的包检测所\有类型的静态缺陷(短路,泄漏,高电阻断路)或PC板水平(模具水平缺陷)。EFI系统扩展了SSM系统的功能,增加了一种SDR技术。这种技术使用设备内部的射频(RF)驻波来定位从PC板到堆叠设备和多芯片模块的设备中的缺陷。

2、Magma EFI还具备了Magma SSM工具的所\有功能。Magma EFI工具利用一种超导量子干涉装置(SQUID)来检测只\需要纳安培电流的设备中的电流。这些电流被组合成一幅图像,可与光学基准和设计数据一起用于定位三维静态缺陷。

3、这种成像是无损的。由于在典型设备中使用的大多数材料都有磁场渗透,所以不需要对设备进行任\何方式的反处理就可以开始定位故障。此外,使用如\此\小的电流可以保护被测设备免受进一步的损坏,并且可能是在尝试检测具有非常高电阻(100k ω)的电路故障时的唯\一选择。可以用EFI工具分析的典型故障包括短路、泄漏、电阻断路。该系统可用于成像交流和/或直流磁场(同样,电流)取决于设备的要求。


厂家资料

地址:北京市朝阳区胜古中路2号院7号楼A座611室

电话:400-6699-117 转 9349

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