仪器参数
特点 | 详情 |
SQUID 传感器 | |
短路缺陷定位 (SQUID) | 3um |
空间分辨率 (SQUID) | 2um |
总扫描面积 (SQUID) | 至少 100mm by 100mm |
当前灵敏度 (SQUID) | · 500nA @ 333um · 1.5uA @ 1000um |
磁敏感性 (SQUID) | 15 pT/√Hz Typical |
成像深度(SQUID) | 10mm |
工作频率 (SQUID) | DC to 25kHz |
Opens 断路 | |
断路缺陷定位 (SDR) | 30um |
成像深度 (Opens) | <500um |
工作频率 (Opens) | 20MHz to 200MHz |
其他参数 | |
功能发电机 | ±10V @ 100mA |
功能发电机频率 | DC to 200kHz |
镜头分辨率 | 2um (in NIR or Visible) |
电源 | · 110 - 120V @ 20A · 220 - 240V@ 10A |
操作系统 | Windows 10 64-bit |
产品应用
1、该仪器可以完整的包检测所\有类型的静态缺陷(短路,泄漏,高电阻断路)或PC板水平(模具水平缺陷)。EFI系统扩展了SSM系统的功能,增加了一种SDR技术。这种技术使用设备内部的射频(RF)驻波来定位从PC板到堆叠设备和多芯片模块的设备中的缺陷。
2、Magma EFI还具备了Magma SSM工具的所\有功能。Magma EFI工具利用一种超导量子干涉装置(SQUID)来检测只\需要纳安培电流的设备中的电流。这些电流被组合成一幅图像,可与光学基准和设计数据一起用于定位三维静态缺陷。
3、这种成像是无损的。由于在典型设备中使用的大多数材料都有磁场渗透,所以不需要对设备进行任\何方式的反处理就可以开始定位故障。此外,使用如\此\小的电流可以保护被测设备免受进一步的损坏,并且可能是在尝试检测具有非常高电阻(100k ω)的电路故障时的唯\一选择。可以用EFI工具分析的典型故障包括短路、泄漏、电阻断路。该系统可用于成像交流和/或直流磁场(同样,电流)取决于设备的要求。
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