布鲁克TI 980 高精度纳米力学测试系统

实现真正纳米尺度表征：

„ 从微米到几个纳米的多尺度测量

„ 纳牛级别的力噪音水平和小于90%原子直径的位移测量能力，实现几乎任何材料的定量表征

„ 系统可实现超过6个数量级的力测量和10个数量级的位移测量力和位移噪音水平保证在客户现场安装时实现

每隔0.013毫秒实现一次完整反馈控制，使得系统能测量快速瞬态过程，并对其作出反馈，真正实现用户的测试意图-每隔0.013毫秒实现一次完整的感知-分析-控制的循环，使得系统能对瞬态过程进行测量与反馈，以此重现用户定义的测试方式

多达24个通道的数据采集能力，每个通道都能同时达到1.2MHz采样率

超高速定量力学性能测量（每秒6次测量）

快速、高分辨空间硬度和模量分布统计

一分钟内可靠完成针尖函数自动校正

比传统纳米压痕测试快500倍的数据采集速率

xSol 环境控制腔及载台，可实现极端环境条件下高通量测量

高定位精度（+/-10nm）

可以从64x64到4096x4096范围内设定扫描分辨率

海思创TI980升级选项

• xSol环境控制腔与载台：环境控制腔实现了定量纳米力学性能和纳米摩擦学特征随着温度、气氛和湿度的变化。

• nanoECR：纳米压痕测试的原位导电特性可以和纳米力学性能，材料形变行为和接触电阻等同步研究。

• xProbe：基于MEMS传感器的探针可以实现原子力显微镜级别的超低力和位移噪音水平。

• iTF：zl的原位薄膜力学性能分析包提供了排除基底效应影响的薄膜和多层膜结构的定量力学性能。

• 3D OmniProbe和多量程NanoProbe： 通过扩展力和位移测量量程实现微米尺度的力学和摩擦学特性表征。

• 同步拉曼光谱： 原位研究力学性能和摩擦学特性与材料结构和化学成分的相关性。

• 模量成像： 动态扫描纳米压痕模式提供材料表面的定量、高分辨模量分布。

• 荧光显微镜联用： 集成荧光显微镜可实现荧光共定位纳米力学测试等。

• 电化学模块： 实现氧化和还原环境下的原位定量纳米力学和纳米摩擦学行为研究。

• 自动探针更换模块： 按钮操作的自动探针更换模块。

• 样品台： 多尺度的磁性、机械和真空固定方式可以固定几乎所有待测样品，包括300mm晶圆。

• TriboAE™： 声音传感器能通过针尖原位监测纳米压痕过程中的断裂和形变产生的声音信号。

• TriboImage™： 纳米尺度划痕/磨损的实时表征