反射式DHM主要参数:
系统 | |||
DHM型号 | R1000 | R2100 | R2200 |
光源数量 | 1 | 2 | 3 |
操作波长(±0.1nm) | 666nm | 794nm | 666 nm, 794 nm, 680 nm |
激光波长稳定性 | 0.01 nm / °C at 666 | ||
样品台 | 手动或自动XYZ平台,行程300 mm x 300 mm x 38 mm | ||
物镜 | 放大倍数1.25x到100 x,标准,高数值孔径,长工作距离,水/油浸物镜 | ||
物镜转轮 | 六孔转盘 | ||
计算机 | DELL工作站,最新多核Intel处理器,高性能图像卡,配置最小21英寸显示屏及鼠标, | ||
软件 | 基于C++和.NET的Koala软件,额外可选软件模块可用于先进分析 | ||
数据兼容性 | 测量数据记录在二进制表格,可导出.txt格式,记录和重建图像可导出.tif格式或.txt数组 |
技术参数:
性能参数 | |||
测量模式 | 666nm单波长 | 合成短波长4.2um | 合成长波长24um |
DHM型号 | R1000,R2100,R2200 | R2100,R2200 | R2200 |
精度[nm] | 0.15 | 0.15 / 3.0 * | 20 |
垂直分辨率[nm] | 0.30 | 0.30 / 6.0 * | 40 |
重复性[nm] | 0.01 | 0.01 / 0.1 * | 0.5 |
垂直测量范围 | up to 200 μm | up to 200 μm | up to 200 μm |
锐利边缘最大台阶高度 | up to 333 nm | up to 2.1 μm | up to 12 μm |
表面类型 | 光滑表面 | 复杂,非连续表面 | 复杂非连续表面 |
垂直校准 | 取决于干涉滤光片,±0.1 nm | ||
响应时间 | 标准500us,10us(可选) | ||
响应速度 | 标准30帧(1024*1024像素),可选达1000帧 | ||
重建速率 | 高达25帧1024*1024像素全息图(依赖于数据分析)(可选60帧) | ||
水平分辨率 | 取决于物镜,低至300nm | ||
视野 | 取决于物镜,从66um x66um到5um x5um范围 | ||
工作距离 | 取决于物镜,从0.3到18 mm | ||
数字对焦 | 取决于物镜,高达50 x景深 | ||
最小样品反射率 | 低于1% | ||
样品照明 | 低至1 μW/cm2 | ||
频闪装置 | 兼容单一,合成短波长 |
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