NIE-4000 (A) 全自动IBE离子束刻蚀

产品型号： NIE-4000 (A)

品牌：那诺-马斯特

产品产地： 美国

产品类型：进口

原制造商：那诺-马斯特

状态：在售

厂商指导价格： 80~100万元[人民币]

上市时间： 2012年

英文名称： NIE-4000 (A)

优点：NIE-4000（A）全自动IBE离子束刻蚀产品，如铜和金等金属不含挥发性化合物，这些金属的刻蚀无法在RIE系统中完成。然而通过加速的Ar离子进行物理刻蚀则是可能的。