影响洁净室设计 建造成本的十五个因素4
5. 空气压差。花费因素变量：-0.041至0.08
洁净室增压是必须的，它的作用是确保洁净室远离其临近区域的污染，控制有害污染物的流向，防止不同区域间的交叉污染，并帮助保持所要求的温度和湿度水平。
洁净室与相关走廊、设施内的其他区域的压差应维持在0.25到0.005英寸水柱(in.w.g.)之间。一般制药企业所要求的压差值比这更高，在不同区域之间采用层叠压差来避免交叉污染。在不同的区域间安装一系列的层叠式气闸和允许空气快速扩散的正压门，从而产生压差。好的微电子洁净室设计中，通常在洁净室的入口安装一个半密封的气闸来使压差保持在0.02到0。005in.w.g.之间。更衣间和穿衣间用气闸分离。入口入的机械风淋相对于它的必要性而言，更是设施文化和洁净室的原则问题。
许多微电子和光刻洁净室成功地采用被动气压控制，只有在大门全部打开的情况下，入口处的风量维持在每分钟50到100英尺。一些生物制药企业要求主动压差控制，采用补充新风的方式，自动补足通过门泄漏的空气(当门打开时)。
压差临测器用来完成这个任务，例如Henry G.Dietz公司的产品(长岛市，纽约;)。监视器可能被安装在洁净室外面，而在洁净室内有一个LED的显示器，该显示器带有一个声音报警装置和两个指示器，可以表示气压的正常与否。这种设备在生物制药洁净室中有生物限制要求的区域内通常用来测负压值，而在电子类洁净室内，通常用来检测负压值，而在电子类洁净室内，通常用来检测正压值。它带有数字压差显示器，显示的度是0.001 in.w.c.,测量压力值或真空度的范围是0.5 in.w.c。压差通过闪亮LED和自动报警装置来表示。当打开大门时，设备内部有一个可调整的延迟报警时间，用来避免启动声音报警装置。
6. 温度控制。花费因素变量：-0.0321至 0.15
温度和湿度的变化能够引起生产设备的误差，从而影响生产过程的可重复性，终导致产品合格率降低、增加浪费。因此，洁净室对温度严格控制要求是显而易见的，这项花费是必须的。
通常情况下，要求工程师在设计时降低施工费用，同时要求在很大区域内对温度进行的控制，允许的温度变化范围在±4到6华氏度之间(例如使用卷帘门的仓库)。在没有硬墙和气闸装置时，这将是十分苛刻的要求，并且实际上无法控制湿度的变化。人们通常认为洁净室外的洁净度、温度、湿度和气压等项目的层叠性是非常容易达到的，并且很容易维持，但需要仔细的评估这些项目的误差范围。
如果对洁净室内的暖通、动力专业装置和控制系统有严格要求，例如洁净室的温度控制要求为正负0.1华氏度所用花费，可能比基准点为70华氏度，±2.0度(即标准要求68到72华氏度)的高出20%到50%。
在每个洁净室区域内，有局部自动调温器来控制设计温度。它能驱动安装在风管上的局部再热或再冷盘管工作，来满足房间内的湿热的要求。如果使用风机盘管装置，局部自动调温器控制本区域内盘管出口空气的温度。
7. 温度控制。花费因素变量：-0.034至0.19
每个洁净室内的相对湿度，通过局部湿度调节器来进行控制。如果窨内的相对湿度较高，恒湿器通过降低冷冻盘管流出空气的温度来加强除湿。同时，再热盘管提供热量来保持窨的温度。任何一个洁净间的相对湿度超出了设计范围，局部恒湿器将启动安装在风管上的局部湿度调节器。当必须满足的湿度控制时，通常利用空调箱中的新风的绝热增湿效果来实现，并通过洁净室的结^***来维持。
湿度水平的局部变动可以通过超声波湿度调节器进行控制，该调节器位于终过滤前的风管静压箱内。用水水质为RO/DI，水电阴率在3到5mgm之间。如果相对湿度低于设计范围，恒湿器将启动湿度调节器来增加新风的水分含量。如果相对湿度较高，恒湿器将降低新风控制冷冻盘管流出空气的温度，从而加强除湿效果。
8. 排风系统。花费因素变量：-0.031至0.16
典型的工艺排风系统包括：酸、溶剂和VOC、毒性物质、热和一般的房间排风。如果废气中有氨气出现，一些厂家会选择使用分开的风管系统和处理系统。使用多、普遍的酸消除方法，是水平或垂直气体洗涤塔。溶剂和VOC的去除通常运用就地或当场高温破坏的方法。需要认真选择支队的方式及必须支队的废气流量。
