半导体特性分析系统-Keithley 4200A-SCS
| 仪器名称： | 半导体特性分析系统-Keithley 4200A-SCS |
| 仪器编号： | 20001001 |
| 产地： | 美国 |
| 生产厂家： | keithley |
| 型号： | 4200A |
| 出厂日期： | |
| 购置日期： | 2020-04-24 |
| 所属单位： | 集成电路学院>微纳加工平台>高精尖 |
| 放置地点： | 高精尖中心一层实验室 |
| 固定电话： | 13910754014 |
| 固定手机： | 13910754014 |
| 固定email： | xugao@tsinghua.edu.cn |
| 联系人： | 高旭（010-62799552,13910754014,xugao@tsinghua.edu.cn） |
| 分类标签： | 集成电路 |
| 技术指标： | 中功率I-V测试模块4个；电流前置放大器4个；脉冲I-V测试模块2个远端放大/切换模块4个；C-V测试模块1个。最大电压源输出：210V；电压源设定最小分辨率：5μV；最大电流输出：100mA；电流源设定最小分辨率：1.5fA；电压测量范围：1μV-200V；电流测量范围：0-100mA；电流测量最小分辨率：0.01fA； 电流测量精度：10fA； |
| 知名用户： | 唐建石（微电子） |
| 技术团队： | 测试工作由实验室资深的工程师或者技术人员进行操作和支援。 |
| 功能特色： | 对半导体器件进行IV、CV等多种电学功能测试，常用于自动测试 |
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 半导体特性分析系统测试费 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 100.0 |
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