Finefocus X射线检测系统共享
| 仪器名称： | X射线检测系统 |
| 仪器编号： | 11027004 |
| 产地： | 德国 |
| 生产厂家： | Finefocus |
| 型号： | Finefocus_Cougar |
| 出厂日期： | 201107 |
| 购置日期： | 201112 |
| 所属单位： | 集成电路学院>微纳加工平台>封装工艺 |
| 放置地点： | 微电子所新所一层微纳平台 |
| 固定电话： | |
| 固定手机： | |
| 固定email： | |
| 联系人： | 郑瑶（010-62798268,13811838182,zhengyao@mail.tsinghua.edu.cn） 窦维治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） 王谦（010-62794957,13810134838,wang-qian@tsinghua.edu.cn） 胡杨（010-62798268,13810173486,hyang@tsinghua.edu.cn） |
| 分类标签： | X射线 无损检测 半导体 |
| 技术指标： | 设备主要技术参数：射线管为开管；输出电压10～160KV；最大功率64W；最大靶功率10W；焦点尺寸≤1µm；几何放大倍数≥1500；数字平板探测器；快速CT扫描。 |
| 知名用户： | 清华大学，北京大学，中科院电工所 |
| 技术团队： | 封装专区拥有相关先进仪器设备20余台套，多为进口设备，按功能主要分为：加工、测量/观察、环境可靠性测试及失效分析。部分设备面对校内外开放，可承担学校、科研单位和国内外企业的加工、测试及分析等技术服务与咨询。 |
| 功能特色： | X射线检测设备主要应用于检测和分析半导体器件、光电器件和其它材料内部结构和内部缺陷，可检测锡球空洞、空焊、短路以及焊点、IC金线等不良现象。 |
样品要求：
低原子量的物体X-ray效果不佳
预约说明：
封装工艺所有的设备均需要提前预约，预约前请联系设备管理员，讨论样品信息和预约时间，再在网上进行预约。
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 机时费 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 2400.0 | 设备工程师操作，最少按1小时计算，超过1小时部分，以15分钟为计费单元。 |
| 送样测试费 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 2400.0 | 设备工程师操作，最少按1小时计算，超过1小时部分，以15分钟为计费单元。 |
| 自主上机机时测试费 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 2400.0 | 设备工程师操作，最少按1小时计算，超过1小时部分，以15分钟为计费单元。 |
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