四探针薄层电阻测试仪共享
仪器名称: | 四探针薄层电阻测试仪 |
仪器编号: | 06013029 |
产地: | 美国 |
生产厂家: | 4 Dimensions 公司 |
型号: | 280SJ |
出厂日期: | 200401 |
购置日期: | 200612 |
所属单位: | 集成电路学院>微纳加工平台>测试与分析 |
放置地点: | 微电子所一层微纳平台测试间 |
固定电话: | 010-62784044 |
固定手机: | 13911813423 |
固定email: | baoyl@mail.tsinghua.edu.cn |
联系人: | 包艳琳(010-62784044,13020075088,baoyl@tsinghua.edu.cn) 窦维治(010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn) 曹秉军(010-62784044,13910803625,caobj@mail.tsinghua.edu.cn) |
分类标签: | 半导体 测试 方块电阻 |
技术指标: | 测量范围为0.001到800000Ω/□;面板控制可以测量1点或5点;外部控制可以最多测量5000点; |
知名用户: | 王喆垚:微电子所 蔡坚:微电子所 许军:微电子所 任天令:微电子所 陈炜:微电子所 王敬:微电子所 邓宁:微电子所 吴华强:微电子所 伍晓明:微电子所 |
技术团队: | 设备工程师:曹秉军 测试工程师:包艳琳 |
功能特色: | 用于测量硅晶片上传导薄膜的方块电阻,可测量离子注入层、薄金属膜或外延层的方块电阻。测量范围为0.001到800000Ω/□;面板控制可以测量1点或5点;外部控制可以最多测量5000点;晶片尺寸大到8英寸或6 x 6英寸正方晶片;测量结果以二维或三维方式显示和打印,测量数据可以输出到Microsoft EXCEL或ASCII码数据文件。 |
样品要求:
可测量离子注入层、薄金属膜或外延层的方块电阻。测量范围为0.001到800000Ω/□。
预约说明:
实验室的设备采用网上预约的方式、以先约先用为基本原则
取消预约需提前2个小时通过网上取消预约
项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
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四探针电阻 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 200.0 | |
四探针电阻-送样 | 元/小时 | 测试费 | 200.0 |
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