ICP设备(刻蚀机)共享应用
仪器名称: | ICP设备(刻蚀机) |
仪器编号: | 02001849 |
产地: | 英国 |
生产厂家: | STS SURFACE TECN. |
型号: | MESC Multiplex |
出厂日期: | 200001 |
购置日期: | 200203 |
所属单位: | 集成电路学院>微纳加工平台>刻蚀工艺 |
放置地点: | 微电子所新所一层工艺平台 |
固定电话: | |
固定手机: | |
固定email: | |
联系人: | 王喆垚(010-62772748,13552821122,z.wang@tsinghua.edu.cn) 窦维治(010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn) |
分类标签: | 微纳加工 深硅刻蚀 集成电路 |
技术指标: | 硅深槽刻蚀,刻蚀速率3um/min |
知名用户: | 清华大学、北京大学、中科院微电子所 |
技术团队: | 教授1人、副教授1人、工程师2人 |
功能特色: | 本设备可进行硅片深刻蚀,加工尺寸为4英寸及以下硅片。Si刻蚀速率为3um/min,光刻胶硅刻蚀选择比为1:20,均匀性小于5%。 |
样品要求:
单片式;硅片尺寸:4英寸及以下
预约说明:
实验室的设备采用网上预约的方式、以先约先用为基本原则
取消预约需提前2个小时通过网上取消预约
项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
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深硅刻蚀 | 元/片 | 测试费 | 800.0 | 刻蚀深度≤30μm,800元/片,>30μm的部分,加收150元/10μm |
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