氟化氙准分子激光器的功能介绍
中文名称
氟化氙准分子激光器
英文名称
xenon fluoride excimer laser
定 义
以氙、三氟化氮(或氟)、氦的混合气体为工作物质的准分子激光器。
应用学科
机械工程(一级学科),光学仪器(二级学科),激光器件和激光设备-激光器名称(三级学科)
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氟化氙准分子激光器
英文名称
xenon fluoride excimer laser
定 义
以氙、三氟化氮(或氟)、氦的混合气体为工作物质的准分子激光器。
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机械工程(一级学科),光学仪器(二级学科),激光器件和激光设备-激光器名称(三级学科)