真空泵性能的表示法
对各种真空泵如:水环真空泵、旋片真空泵的性能,都有规定的测试方法来检验其性能的优势,真空泵的主要性能有:
1.极限压力
将真空泵与检测容器相连,放入待测的气体后,进入长时间连续地抽气,当容器内的气体压力不再下降,而维持某一定值时,此压力即为泵的极限压力,其单位用Pa表示。
2.流量
在真空泵的吸气口处,单位时间内流过的气体量称为泵的流量。在真空技术中,流量的单位用压力*体积/时间来表示,即用Pam3/s或Pam3/h表示。通常泵要给出流量与入口压力的关系曲线。
3.抽气速率
在真空泵的吸气口处,单位时间内流过的气体的体积称为泵的抽气速率。即气体A的抽气速率SA为流量QA(Pam3/s)除以测试罩内这种气体A的分压力PA而得,即SA=QA/PA(Pam3/s);
4.抽气的概念
若真空容器所有的内表面上无气体的吸附和脱附现象发生,这种抽气过程作理想状态的抽气过程。
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