EN ISO 14644-14:2016
洁净室和相关受控环境第14部分:由尘埃粒子浓度使用设备的适宜性评价(ISO 14644-14:2016)

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration

标准号

EN ISO 14644-14:2016

发布

2016年

发布单位

欧洲标准化委员会

当前最新

EN ISO 14644-14:2016

 

 

引用标准

AIR 1167 ISO 14644-1:2015 ISO 14644-3:2005 ISO 14644-7:2004 ISO 14644-9:2012 ISO 8573-8:2004 JIS B 9926:1991 SEMI E49-1104 SEMI F28-1103 SEMI F70-0611 SEMI G67-0996 VDI 2083 Blatt 9.1-2006

被代替标准

FprEN ISO 14644-14:2016

适用范围

ISO 14644 的这一部分规定了一种方法，用于评估用于洁净室和相关受控区域的设备（例如机器、测量装置、工艺设备、组件和工具）的洁净室适用性，涉及 ISO 14644 -1 中规定的空气颗粒洁净度固定的。 颗粒尺寸范围为 0.1 µm 至等于或大于 5 µm（ISO 14644-1 中规定）。 注：如果主管当局施加额外的指导方针或限制，则可能需要对评估方法进行适当调整。 ISO 14644 本部分未涵盖以下方面：生物污染适宜性评估；测试去污剂和技术的适用性；设备和材料的清洁度；装置结构设计和材料选用的要求；物理材料特性（例如静电、热特性）；针对特定工艺应用优化设备性能；测试统计方法的选择和应用；与区域安全法规相关的协议和要求。

EN ISO 14644-14:2016相似标准

推荐