电子级 多晶硅

本专题涉及电子级 多晶硅的标准有4条。

国际标准分类中，电子级 多晶硅涉及到半导体材料、术语学(原则和协调配合)、金属材料试验。

在中国标准分类中，电子级 多晶硅涉及到元素半导体材料、、半金属及半导体材料分析方法。

国家质检总局，关于电子级 多晶硅的标准

• GB/T 12963-2014 电子级多晶硅
• GB/T 12963-2022 电子级多晶硅

中国团体标准，关于电子级 多晶硅的标准

• T/ICMTIA SM0028-2022 集成电路用电子级多晶硅

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于电子级 多晶硅的标准

• GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

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