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椭偏仪 量

本专题涉及椭偏仪 量的标准有2条。

国际标准分类中，椭偏仪 量涉及到无损检测、长度和角度测量。

在中国标准分类中，椭偏仪 量涉及到金属无损检验方法、基础标准与通用方法。

德国标准化学会，关于椭偏仪 量的标准

• PAS 1022-2004 检测材料及介电材料性质以及用椭偏仪测量薄膜层厚度的参考程序

国家质检总局，关于椭偏仪 量的标准

• GB/T 31225-2014 椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法

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