等离子体质谱icp-ms技术

本专题涉及等离子体质谱icp-ms技术的标准有2条。

国际标准分类中，等离子体质谱icp-ms技术涉及到集成电路、微电子学、水质。

在中国标准分类中，等离子体质谱icp-ms技术涉及到半导体分立器件综合。

德国标准化学会，关于等离子体质谱icp-ms技术的标准

• DIN 51456-2013 半导体技术用材料的试验. 使用电感耦合等离子体质谱法 (ICP-MS) 通过水分析解决方案的多元素测定进行硅晶片的表面分析

美国材料与试验协会，关于等离子体质谱icp-ms技术的标准

• ASTM D6800-2012 微量金属的电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)分析法使用还原沉淀预浓缩技术对水样制备的标准操作规程

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