离子泵验收

本专题涉及离子泵验收的标准有1条。

国际标准分类中，离子泵验收涉及到真空技术。

在中国标准分类中，离子泵验收涉及到真空技术与设备。

德国标准化学会，关于离子泵验收的标准

• DIN 28429-2003 真空技术.溅射离子泵验收规范

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