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气相外延设备

本专题涉及气相外延设备的标准有2条。

国际标准分类中，气相外延设备涉及到电子电信设备用机电元件。

在中国标准分类中，气相外延设备涉及到电子工业生产设备综合、。

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于气相外延设备的标准

• GB/T 36646-2018 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备

中国团体标准，关于气相外延设备的标准

• T/ZJATA 0017-2023 制备碳化硅半导体材料用化学气相沉积法(CVD)外延设备

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