泵 真空泵

本专题涉及泵 真空泵的标准有7条。

国际标准分类中，泵 真空泵涉及到压缩机和气动机械、真空技术。

在中国标准分类中，泵 真空泵涉及到真空技术与设备。

未注明发布机构，关于泵 真空泵的标准

• SEMI E74-0301 (Reapproved 0307)-2007 涡轮分子泵真空泵接口规范

US-FCR，关于泵 真空泵的标准

• FCR FED H-08-4 VOL 3 SEC II 612.4-1988 冷凝水泵和真空泵

CZ-CSN，关于泵 真空泵的标准

• CSN 10 7065-1973 扩散真空泵，喷射真空泵和真空助力泵的性能特点测量方法．体积流率的测量

英国标准学会，关于泵 真空泵的标准

• BS EN 1012-2:1997 压缩机和真空泵.安全性要求.真空泵
• BS EN 1012-2+A1:1997 压缩机和真空泵 安全性要求 真空泵
• BS EN 1012-2:1996+A1:2009 压缩机和真空泵.安全性要求.真空泵

德国标准化学会，关于泵 真空泵的标准

• DIN 28426-1:1983 真空技术.近似真空和中等真空范围用旋转柱塞真空泵、叶片式旋转真空泵和旋转式活塞真空泵验收规范

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