钨的定量分析

本专题涉及钨的定量分析的标准有3条。

国际标准分类中,钨的定量分析涉及到半导体材料。

在中国标准分类中,钨的定量分析涉及到元素半导体材料、电子技术专用材料。


美国材料与试验协会,关于钨的定量分析的标准

  • ASTM F1894-1998 定量分析硅化钨半导体加工膜组分和厚度的标准试验方法
  • ASTM F1894-1998(2003) 定量分析硅化钨半导体加工膜组分和厚度的标准试验方法
  • ASTM F1894-1998(2011) 定量分析硅化钨半导体加工膜组分和厚度的标准试验方法




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