BS PD ISO/TR 16268:2009
表面化学分析 验证离子注入产生的工作参考材料中保留的砷剂量的拟议程序

Surface chemical analysis. Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation

标准号

BS PD ISO/TR 16268:2009

发布

2009年

发布单位

SCC

当前最新

BS PD ISO/TR 16268:2009

 

 

适用范围

交叉引用：ISO 18115 ISO/IEC 指南 98-3 GUM:1995 ISO 指南 30:1992 购买时可用的所有当前修订均包含在购买此文件时。

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