真空测量就是真空度的测量,而真空度是指低于大气压力的气体稀薄程度。真空测量包括全压力测量、分压力测量和真空计校准三个部分。用以探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器称为真空计。电离真空计:利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离,产生的离子流随电力变化的原理。如:热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射性电离真空计等。...
(3)热辐射真空计:利用低压下气体热辐射与压力有关原理。 (4)电离真空计:利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离,产生的离子流随电力变化的原理。如:热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射性电离真空计等。 (5)放电管指示器:利用气体放电情况和放电颜色与压力有关的性质判定真空度,一般仅能作为定性测量。 (6)粘滞真空计:利用低压下气体与容器壁的动量交换即外摩擦原理。...
(3)热辐射真空计:利用低压下气体热辐射与压力有关原理。 (4)电离真空计:利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离,产生的离子流随电力变化的原理。如:热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射性电离真空计等。 (5)放电管指示器:利用气体放电情况和放电颜色与压力有关的性质判定真空度,一般仅能作为定性测量。 (6)粘滞真空计:利用低压下气体与容器壁的动量交换即外摩擦原理。...
5、放电管指示器:利用气体放电情况和放电颜色与压力有关的性质判定真空度,一般仅能作为定性测量。 6、粘滞真空计:利用低压下气体与容器壁的动量交换即外摩擦原理。如振膜式真空计和磁悬浮转子真空计。 7、场致显微仪:以吸附和解吸时间与压力关系计算压力。 8、分压力真空计:利用质谱技术进行混合气体分压力测量。常用的有四极质谱计、回旋质谱计和射频质谱计等。...
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