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下图为其成像原理图,高能电子束轰击样品表面,激发出样品表面的各种物理信号,再利用不同的信号探测器接受物理信号转换成图像信息。扫描电子显微镜成像原理图(图片来源:西南石油大学能源材料实验教学中心)扫描电镜除能检测二次电子图像以外,还能检测背散射电子、透射电子、特征x射线、阴极发光等信号图像。其成像原理与二次电子像相同。在进行扫描电镜观察前,要对样品作相应的处理。 ...
当射线源在位置时,即第k次投影时,重建层在探测器上投影相对中心探测器偏移量为: (4)将物体聚焦到平面的偏移量为: (5)设第k幅投影为,将n次平移后投影图像取平均,合成得到焦平面处的图像: (6)针对射线源轨迹为弧形的CL扫描结构,如图9(b),探测器保持静止,成像放大倍数不仅依赖于距离探测器的高度,而且与射线源移动角度φ有关,通常将弧线轨迹的投影图像转换成平行路径下的投影图像...
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