NS-EN ISO 23131:2022
椭圆偏振仪 原理 (ISO 23131:2021)

Ellipsometry - Principles (ISO 23131:2021)

标准号

NS-EN ISO 23131:2022

发布

2022年

发布单位

SCC

当前最新

NS-EN ISO 23131:2022

 

 

适用范围

ADOPTED_FROM:EN ISO 23131:2022 本文件规定了一种通过经认可的测试实验室确定 UV-VIS-NIR 光谱范围内的光学和介电常数以及在线生产控制、质量保证和材料开发领域的层厚度的方法。它适用于独立测量系统。结果不确定度的表示符合 ISO/IEC 指南 98-3。

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