干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。 激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,最初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的,它适宜在车间中使用。...
激光干涉比长仪校准规范代替JJG 331-199418JJF1914-2021金相显微镜校准规范19JJF1915-2021倾角仪校准规范代替JJF1119-2004JJF1083-200320JJF1916-2021扫描电子显微镜校准规范代替JJG 550-198821JJF1917-2021显微标尺校准规范22JJF1918-2021电容式加速度传感器校准规范...
激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具,可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线,为数控机床的误差修正提供可靠依据,现场使用尤为方便。 激光干涉仪配有各种附件,可测量小角度、平面度、直线度、平 行度、垂直度等形位误差。 激光干涉仪也是一种高精度位移传感器,可直接用于高精度、大 尺寸的动态位移测量系统。 ...
它主要用于测量零部件的尺寸、角度、位置、直线性,也是检定各类数控机床、激光加工机床以及光刻机台的精度,进行误差补偿的基本仪器,更是先进制造业的重器。 据了解,双频激光器是双频激光干涉仪的核心部件。国外干涉仪厂家都是自制专用激光器,称为塞曼双频激光器,但不对外供应。而我国的双频激光干涉仪只能从进口普通激光器进行选择,其国产化困难一直是先进制造业的痛点。 ...
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