ASTM F1708-02
ASTM F1708-02
- 标准号
- ASTM F1708-02
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 当前最新
- ASTM F1708-02
- 引用标准
- ASTM C28 ASTM C31/C31M ASTM C34 ASTM C35 ASTM D5127 ASTM F1241 ASTM F1389 ASTM F1391 ASTM F1630
- 适用范围
- 1.1 本实践描述了将粒状多晶硅固结成实心棒，然后通过区熔技术将多晶硅棒转化为单晶的过程。所得单晶锭用于测定多晶硅中的痕量杂质。这些杂质是受体和供体成分（通常是硼、铝、磷、砷和锑）以及替代碳。
1.2 本实践所涵盖的杂质浓度的有用范围对于受主和施主杂质来说是十亿分之 0.002 至 100 份原子 (ppba)，对于碳来说是十亿分之五原子 (ppma) 0.03 至 5 份。通过光致发光或红外光谱分析从单晶锭中取出的切片中的受主和施主杂质。通过红外光谱分析切片来测定碳杂质。
1.3 本实践仅适用于评估通过在连续流化床反应器中将硅烷或其中一种氯硅烷热沉积到高纯度多晶硅晶种上而产生的多晶硅颗粒。颗粒形状接近球形，尺寸范围为 200 至 2500 µm，平均尺寸约为 900 µm。
1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。具体危险说明见第 9 节和 12.1.1。