ISO/FDIS 21360-5:2023
真空技术 测量真空泵性能的标准方法 第 5 部分:非蒸发吸气剂 (NEG) 真空泵

Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 5: Non-evaporable getter (NEG) vacuum pumps


标准号
ISO/FDIS 21360-5:2023
发布
2023年
发布单位
国际标准化组织
当前最新
ISO/FDIS 21360-5:2023
 
 

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