ASTM F671-99
ASTM F671-99
- 标准号
- ASTM F671-99
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 当前最新
- ASTM F671-99
- 引用标准
- ASTM E122
- 适用范围
- 1.1 本测试方法涵盖了确定晶圆周边平坦部分长度的技术。
1.2 该测试方法主要用于名义上圆形边缘轮廓晶圆形式的电子材料，其平面长度可达 65 毫米。该测试方法的精度仅针对硅晶圆直接确定，但预计与材料无关。
1.3 本测试方法适用于裁判测量目的，并且当规定的限值要求测试精度高于手持秤和肉眼所能获得的精度时，可用于常规验收测量。
1.4 该测试方法与表面光洁度无关。
1.5 对于直径为3英寸或更小的晶圆，以英寸-磅为单位的数值被视为标准；以可接受的公制单位表示的值仅供参考。对于直径大于 3 英寸的晶圆，以可接受的公制单位表示的值将被视为标准，无论它们是否出现在括号中；以英寸-磅为单位的数值仅供参考。注 1——DIN 50441 第 4,2 部分是一种类似但不等效的确定扁平长度的方法。在该方法中，平坦长度是根据平坦深度的测量值来计算的。此方法不提供对平面端部倒圆的任何校正。
1.6 本标准无意解决与其使用相关的安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。