T/ICMTIA ESG0014-2022
集成电路用混合气体 30%氧/氦


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标准号
T/ICMTIA ESG0014-2022
发布
2022年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/ICMTIA ESG0014-2022
 
 
本文件规定了集成电路用混合气30%氧/氦的技术要求、试验方法、抽样、判定和复验、标志、包装、运输及储存的要求。 本文件适用于集成电路用混合气30%氧/氦,其它组分比例的氧氦混合气可以参考执行。

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