电离规管除气采用烘烤方法,即给灯丝和栅极可分别通电加热,板极则采用高频感应加热或电子轰击,使气体在测量前被释放出来。一般电离真空计都具有除气功能,当真空度大于1×10^-2Pa时,按说明书要求对电离规管进行除气...
该设备电容真空计和全量程真空计读数偏差不大, 两个真空计同时出现故障的概率很小。因此首先考虑设备漏。用He 检漏仪进行检漏, 发现测膜厚晶振连接头漏率达4 × 10- 9 Pa.m3/ s, 延长喷He 时间, 漏率达1 × 10- 8 Pa.m3/ s。接着停了冷泵,检测了粗抽阀、放气阀、主气阀。然后让冷泵开始再生程序升温到室温, 再停止再生。...
通过一个 IKR 070 真空计测量压力,按照内部测试和均衡系统上的所有其他真空计一样为该真空计进行校准。分析器的核心部件是一个配备开放离子源 Faraday 和 SEM 探测器的四极杆质谱仪 PrismaPlus。该设备可以检测的质量范围从 1 至 200 amu。...
(3)规管安装时应竖直安装,否则在加热除气,烘烤时栅极和阴极产生变形,相对位置变化,将会严重影响测量精度。 (4)在开灯丝前,判断被测真空系统中的真空度确信小于10-1pa时,才能开灯丝,否则真空度太低,导致规管阴极氧化而烧毁。 (5)在读数之前,应先调整好发射电流、零点及满度。具体步骤是:发射电流—零点—满度—发射电流。 (6)电离真空计只需要加电预热10分钟就可以校准了。...
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