找不到引用DIN 50455-1:2009-10 半导体技术材料测试 光刻胶表征方法 第1部分:用光学方法测定涂层厚度 的标准
(完)优尼康:Filmetrics膜厚仪在光刻胶相关领域的应用 光刻胶厚度的量测,最初的方式是使用台阶仪来破坏性测试,因为光学测量可以快速无损测试,且干胶及湿胶均能够测试,目前大部分均已经采用光学方式测量膜厚。Filmetrics膜厚仪主要应用于光刻胶相关领域:(1)光刻胶原材料商及光刻胶制造商国内绝大部分的光刻胶制造商均购买了Filmetrics膜厚仪。...
相关应用:材料折射率消光系数测试;硅片自然氧化层厚度测试;光刻胶光学常数测试;半导体后段封装硅上金属厚度测量Lumina AT2缺陷检测仪薄膜缺陷检测仪实现亚纳米薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像。相关应用:所有缺陷类型;薄厚基板;透明和不透明基板;电介质涂层;金属涂层;键合硅片;开发和在线生产更多机型现场等您体验。。。...
相关应用:材料折射率消光系数测试;硅片自然氧化层厚度测试;光刻胶光学常数测试;半导体后段封装硅上金属厚度测量FS-1 多波长椭偏仪Film Sense FS-1多波长椭偏仪采用寿命长 LED 光源和非移动式部件椭偏探测器,可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现可靠地薄膜测量。相关应用:二氧化硅和氮化物,高介电和低介电材料,非晶和多晶材料,硅薄膜,光刻胶。...
相关应用:半导体制造(光刻胶、氧化物/氮化物/SOI、晶圆背面研磨);LCD 液晶显示器(聚酰亚胺、ITO 透明导电膜);光学镀膜(硬涂层、抗反射层);MEMS 微机电系统(光刻胶、硅系膜层)。FS-1 多波长椭偏仪Film Sense FS-1多波长椭偏仪采用寿命长 LED 光源和非移动式部件椭偏探测器,可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现可靠地薄膜测量。...
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