BS IEC 62047-37:2020
半导体器件 微机电器件 传感器用MEMS压电薄膜环境试验方法
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application
- 标准号
- BS IEC 62047-37:2020
- 发布
- 2023年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS IEC 62047-37:2020
- 适用范围
- 范围 IEC 62047的本部分规定了评估MEMS压电薄膜材料在温度和湿度环境应力以及机械应力和应变下的耐久性的测试方法，以及适当质量评估的测试条件。具体来说，本文件规定了测量 DUT 在温度和湿度条件以及施加电压下的耐久性的测试方法和测试条件。其进一步适用于主要在硅基板上形成的压电薄膜（即用作声传感器或悬臂型传感器的压电薄膜）中的直接压电特性的评估。本文件不涵盖可靠性评估，例如基于威布尔分布预测压电薄膜寿命的方法。
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