NF EN ISO 23216:2022
碳基薄膜用光谱椭圆光度法测定非晶碳薄膜的光学性能

Carbon-based films – Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry

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标准号: NF EN ISO 23216:2022
发布: 2022年
发布单位: 法国标准化协会
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