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2 薄膜应力的成因 薄膜应力主要包括热应力与生长应力:热应力是当薄膜从沉积温度冷却到室温的过程中,由于薄膜与基底的热膨胀系数不同引起的;生长应力存在于所有镀膜方法(如真空蒸发、阴极溅射或气相沉积)制作的薄膜中,其zui大值可达109N/m2。它的大小与由薄膜和基底材料以及制备工艺条件有关。...
光学组件的表面质量是对可能会在制造和处理过程中产生的表面缺陷(划痕和凹坑或麻点)的评估。表面质量对激光应用比对成像应用更重要,因为表面缺陷可能会引发激光诱导损伤。需要大功率的敏感系统也可能会因为表面缺陷而形成光通量变化和散射的增加。比起适用于可见光或 IR 系统的光学元件,适用于 UV 波长的光学元件对表面质量公差的要求更严格,因为波长越短,接受的散射量越高。...
扫描电子显微镜在材料的分析和研究方面应用十分广泛,主要应用于材料断口分析、微区成分分析、各种镀膜表面形貌分析、层厚测量和显微组织形貌及纳米材料分析也能与 X 射线衍射仪或电子能谱仪相结合,构成电子微探针,用于物质成分分析等。扫描电镜(Scanning Electron Microscope)简写为 SEC,是一种新型的电子光学仪器。由真空系统,电子束系统以及成像系统三大部分组成。...
A) 典型物理效应有:1) 玻璃容器和光学仪器的碎裂;2) 运动部件的卡紧或松弛;3) Explosives中固态药丸或药柱产生裂纹;4) 不同材料的收缩或膨胀率、或诱发应变速率不同;5) 零部件的变形或破裂;6) 表面涂层开裂;7) 密封舱泄漏;8) 绝缘保护失效。b)典型化学效应有:1)各组分分离;2)化学试剂保护失效。...
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