KS I ISO 14644-12-2020
洁净室和相关的受控环境.第12部分:用纳米级颗粒浓度监测空气清洁度的规范

Cleanrooms and associated controlled environments —Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration


KS I ISO 14644-12-2020 发布历史

KS I ISO 14644-12-2020由KR-KS 发布于 2020-08-27。

KS I ISO 14644-12-2020在国际标准分类中归属于: 13.040.35 清洁室(无菌室)及相关受控环境。

KS I ISO 14644-12-2020的历代版本如下:

  • 2020年08月27日 KS I ISO 14644-12-2020 洁净室和相关的受控环境.第12部分:用纳米级颗粒浓度监测空气清洁度的规范

 

 

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标准号
KS I ISO 14644-12-2020
发布日期
2020年08月27日
实施日期
废止日期
国际标准分类号
13.040.35
发布单位
KR-KS




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