目前实验室的流化床 PALD 可实现从毫克到公斤级的粉末包覆,在引入半连续的空间 ALD 后,可以实现连续作业,提高产量。Geldart 粉末分类旋转式 PALD等离子增强耦合 PALD 系统旋转式 PALD 开发的初衷是为了实现更高的前驱体利用率,针对纳米级的超细粉末,旋转式方案拥有更好的兼容性。颗粒在重力、气体粘滞力和离心力作用下处于动态平衡,前驱体与颗粒表面充分接触,提高利用率。...
锂离子电池的广泛应用推动了新能源汽车行业的快速发展,而 PALD 包覆技术可以改进电极材料的使用寿命及电化学性能,有效提升电池整体性能。Forge Nano 公司长期以来一直致力于将该技术应用在各种锂电电池材料的改性生产工艺中。为电池穿上铠甲的PALD 包覆技术在征服了地面交通后,锂离子电池的步伐也迈向了太空。...
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