BS PD ISO/TR 18394:2006
表面化学分析俄歇电子能谱化学信息的推导

Surface chemical analysis. Auger electron spectroscopy. Derivation of chemical information

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2016-05

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标准号: BS PD ISO/TR 18394:2006
发布: 2011年
发布单位: SCC
替代标准: BS PD ISO/TR 18394:2016
当前最新: BS PD ISO/TR 18394:2016

适用范围: 交叉引用：ISO 18115:2001

BS PD ISO/TR 18394:2006相似标准

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俄歇电子能谱（1）

各种表面分析方法的建立又为这些领域的研究创造了很有利的条件。在表面组分分析方法中，除化学分析用电子能谱以外，俄歇电子能谱是最重要的一种。目前它已广泛地应用于化学、物理、半导体、电子、冶金等有关研究领域中。...

俄歇电子能谱仪

俄歇电子能谱仪（Auger Electron Spectroscopy，AES），作为一种最广泛使用的分析方法而显露头角。这种方法的优点是：在靠近表面5-20埃范围内化学分析的灵敏度高；数据分析速度快；能探测周期表上He以后的所有元素。虽然最初俄歇电子能谱单纯作为一种研究手段，但现在它已成为常规分析手段了。它可以用于许多领域，如半导体技术、冶金、催化、矿物加工和晶体生长等方面。...

俄歇电子能谱仪简介

　　俄歇电子能谱仪（AugerElectronSpectroscopy，AES），作为一种最广泛使用的分析方法而显露头角。这种方法的优点是：在靠近表面5-20埃范围内化学分析的灵敏度高；数据分析速度快；能探测周期表上He以后的所有元素。虽然最初俄歇电子能谱单纯作为一种研究手段，但现在它已成为常规分析手段了。它可以用于许多领域，如半导体技术、冶金、催化、矿物加工和晶体生长等方面。...

薄膜衬底材料中俄歇电子能谱的蒙特卡洛模拟

在众多表面分析技术中,俄歇电子的采样深度一般为纳米级别,具有很高的表面灵敏度,适合材料表面定的性和定量分析,因此本文的主要研究目的是:整合当前最新的电子与固体原子的散射理论,用蒙特卡洛方法模拟研究薄膜对衬底俄歇能谱的影响,并用衬底的俄歇峰强度来表征衬底材料上均匀薄膜的厚度,得出俄歇信号强度与薄膜厚度的一般关系式,并推导出相关的有效衰减长度。下面介绍文章的具体内容。...

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