具有镜面表面的硅片的目视检查, 您可以免费下载预览页
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,长轴及短轴的转动惯量Iml与Ims计算公式为Iml=π64ρtmLmD3(3)Ims=π64ρtmL3mD(4)式中,ρ为振镜材料硅的密度,tm是镜面的厚度,Lm和D为镜面的长和宽.振镜的谐振频率f的计算公式为f=12πKsIm−−−√(5)在模型中,磁铁和线圈产生的电磁力为F=V×Ms×∂H∂z(6)式中,V是磁铁的体积,Ms是磁铁的磁化强度,H是由外部线圈产生的磁场强度.由电磁力产生的振镜扭转力矩...
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