ASTM F674-92(1999)
ASTM F674-92(1999)
- 标准号
- ASTM F674-92(1999)
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 当前最新
- ASTM F674-92(1999)
- 适用范围
- 1.1 本实践涵盖了在通过扩展电阻技术测量电阻率变化之前硅样品的表面准备。
1.2 对于制备用于测量横向电阻率变化的大面积样品和制备用于测量电阻率垂直变化（深度剖面）的斜切样品（通常是小片），给出了单独的程序。注 1——金刚石抛光的好处是 (1) 大面积或斜面样品上铺展阻力值的稳定性和再现性，以及 (2) 斜面表面几何形状的敏锐度。稳定性和可重复性的优点可能适用于电导率类型和所有电阻率值；然而，它们仅针对高于 1 V·cm 的 (111) n 型得到了广泛的证明。增强的斜角锐度与导电类型或电阻率值无关。
1.3 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。