2 薄膜应力的成因 薄膜应力主要包括热应力与生长应力:热应力是当薄膜从沉积温度冷却到室温的过程中,由于薄膜与基底的热膨胀系数不同引起的;生长应力存在于所有镀膜方法(如真空蒸发、阴极溅射或气相沉积)制作的薄膜中,其zui大值可达109N/m2。它的大小与由薄膜和基底材料以及制备工艺条件有关。...
适用于表面质量评级的规定包括:1、ANSI/OEOSC OP1.002-2009,针对光学和电光仪器 – 光学元素和组件 – 外观缺陷*2、ISO10110-7:2008,光学和光电- 适用于光学元件和系统的制图 - 第7部分:表面缺陷公差*3、ISO14997:2003;光学和光学仪器 - 用于检测光学元件表面缺陷的方法4、MIL-PRF-13830B;管理火控仪器光学组件的制造、组装和检测的一般规格...
;显微镜:光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪;检漏仪器、静电负离子空气净化机;气体分析及检测、分析和测量系统等;9.电子测量仪器 频率测量仪器,电压测量仪器,等10电工仪器仪表和工具等11.自动化仪表及系统 IC测试仪器设计、分立元件、电路板检错等多种电子产品的在线测试和离线测试。...
;显微镜:光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪;检漏仪器、静电负离子空气净化机;气体分析及检测、分析和测量系统等;9.电子测量仪器 频率测量仪器,电压测量仪器,等10电工仪器仪表和工具等11.自动化仪表及系统 IC测试仪器设计、分立元件、电路板检错等多种电子产品的在线测试和离线测试。...
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