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修改molecular beam epitaxy (MBE) 分子束外延molecular flow 分子流monitor wafer(test wafer) 陪片,测试片,样片monocrystal 单晶monolithic device 单片器件Moore''s law 摩尔定律MOS 金属氧化物半导体MOSFET 金属氧化物半导体场效应管motor curreant endpoint...
文章报道了一种电驱动碳纳米管片装三维光电集成电路,通过互补金属氧化物半导体(CMOS)兼容的低温无掺杂技术,利用碳纳米管(CNT)制造片装电驱动小型OEIC的高能纳米电子和光电子系统,如光伏接收器、电驱动发射器和片装电子电路,为实现单片三维光电集成电路提供无缝集成平台,实现多样化的功能,如异构AND门。...
氧化物半导体具有工艺温度低、透明度好、薄膜可大面积生长、电子迁移率高、能带隙宽等优点,这些优点使其适用于内存驱动电路以及基于高性能薄膜晶体管的逻辑电路。随着人们对实现具有新功能和超强计算能力的新型计算架构越来越感兴趣,开发高性能氧化物半导体晶体管以实现兼容CMOS 后端工艺的单片三维集成电路已迫在眉睫。 ...
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