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主要元件是由4个正确设计安装在一个基板上的悬臂梁组成的单片硅结构,9个正确布置在各个悬臂梁上的压阻敏感元件。多功能化不仅可以降低生产成本,减小体积,而且可以有效的提高传感器的稳定性、可靠性等性能指标。把多个功能不同的传感元件集成在一起,除可同时进行多种参数的测量外,还可对这些参数的测量结果进行综合处理和评价,可反映出被测系统的整体状态。...
展望在垂直堆叠多功能集成电路的晶圆片上生长器件品质的外延层,将会大幅减少集成电路的足迹。它还将允许一体式芯片平台被创造出来,使光子电路与最先进的传感器、晶体管和由神经形态芯片积极处理的记忆元件相结合。虽然采用先进的外延技术的单片集成是耦合不同材料的最简单方法,但异质外延生长的外延薄膜的材料质量仍然不理想。...
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