DIN 28429:2003
真空技术.溅射离子泵验收规范
Vacuum technology - Acceptance specifications for getter ion pumps
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- 标准号
- DIN 28429:2003
- 发布
- 2003年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN 28429:2014
- 当前最新
- DIN 28429:2014
- 适用范围
- The document purpose of this Standard is to ensure that the evaluation of the features of a Ion Getter pump is to be done under uniform proceedings and conditions. It should be achieved, that the measures done by different manufacturers and labs and the information given in catalogues are in principle comparable.#,,#
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