ASTM F1094-87(2005)
用直接加压分接抽样阀和用预先消毒塑料包法对电子和微电子器件加工用水微生物监测的测试方法

Standard Test Methods for Microbiological Monitoring of Water Used for Processing Electron and Microelectronic Devices by Direct Pressure Tap Sampling Valve and by the Presterilized Plastic Bag Method

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标准号

ASTM F1094-87(2005)

发布

1987年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM F1094-87(2012)

当前最新

ASTM F1094-87(2020)

 

 

适用范围

这些测试方法为电子工艺用水的细菌学分析提供了现场技术。这些水的采样和随后的细菌学分析可能对电子产品的产量至关重要。细菌可能是有害污染的主要来源，它会显着降低令人满意的微电子器件生产的产量。这里描述的测试方法既可用于监测微电子产品加工中使用的水的细菌学质量，也可用于定位水净化系统中细菌污染的来源。这些测试方法是简单的现场方法，结合了采样和细菌学分析技术，不需要细菌学实验室设施。所描述的测试方法采用培养技术进行细菌学分析。用户应该意识到，此类技术无法提供存在的活细菌总数的完整计数，因为细菌团块和簇在培养时将显示为单个菌落，并且因为一些活细菌在所使用的测试条件下不会生长。然而，如果样品培养始终在相同的温度和相同的时间内进行，则通过此方法将实现有意义的比较细菌计数。孵化温度应始终保持在 28 ℃。 2℃，孵育时间为48小时（如果时间允许则为72小时）。所有比较研究的培养时间和温度应相同。
1.1 这些测试方法包括通过直接取样龙头和过滤袋中收集的样品对来自水净化系统和输水系统的高纯水进行取样和分析。这些测试方法涵盖了水管取样和随后通过培养技术对样品进行微生物分析。从水样中回收并在过滤器上计数的微生物包括需氧菌和兼性厌氧菌。
1.2 三种方法描述如下： 部分测试方法 A--取样龙头-直接过滤 6 至 8 测试方法 B--预灭菌塑料袋技术 9 至 12 测试方法B2——浸渍剥离技术2/预灭菌塑料袋1.3 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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