ASTM F1374-92(1999)
内部表面的离子/有机萃取物的标准测试方法 - 用于气体分配系统组件的IC/GC/FTIR

Standard Test Method for Ionic/Organic Extractables of Internal Surfaces-IC/GC/FTIR for Gas Distribution System Components

被代替

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标准号

ASTM F1374-92(1999)

发布

1992年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM F1374-92(2005)

当前最新

ASTM F1374-92(2020)

 

 

1.1 本测试方法建立了测试超高纯气体分配系统中使用的组件的离子和有机表面残留物的程序。 1.2 本测试方法适用于含有气态电子级材料的在线组件。 1.3 局限性： 1.3.1 本测试方法受到检测仪器灵敏度和提取溶剂可用纯度水平的限制。虽然离子色谱和气相色谱方法是定量的，但傅里叶变换红外光谱 (FTIR) 方法可用作定性或定量工具。此外，还使用气相色谱 (GC...

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