特点:在靠近表面5-20埃范围内化学分析的灵敏度高,很高的空间分辨率,最小可达到6nm;能探测周期表上He以后的所有元素及元素分布;通过成分变化测量超薄膜厚4.X射线光电子能谱(XPS)原理:激发源为X射线,用X射线作用于样品表面,产生光电子。通过分析光电子的能量分布得到光电子能谱研究样品表面组成和结构。...
一、XPS的历史X 射线光电子能谱(XPS)也被称作化学分析电子能谱(ESCA)。该方法首先是在六十年代由瑞典科学家K.Siebabn 教授发展起来的。这种能谱最初是被用来进行化学元素的定性分析,现在已发展为表面元素定性、半定量分析及元素化学价态分析的重要手段。此外,配合离子束剥离技术和变角XPS 技术,还可以进行薄膜材料的深度分析和界面分析。...
能量色散 X射线荧光光谱仪EDXRF:在高分辨率下检测元素,并拥有更高的光谱解析度,适用于矿物、地质、环保等领域。 3. 激光光谱仪:利用激光与分析样品的作用,分析样品中的元素成份和化学结构。 4. ESCA电子能谱仪,是一种以类似于荧光屏等的示波管为光源,通过样品上光子(光子能量约为1,500-16,000电子伏特)从而引起电荷电子反弹出,根据反弹角度能够分析样品中元素的种类和分布情况。 ...
能量色散 X射线荧光光谱仪EDXRF:在高分辨率下检测元素,并拥有更高的光谱解析度,适用于矿物、地质、环保等领域。 3. 激光光谱仪:利用激光与分析样品的作用,分析样品中的元素成份和化学结构。 4. ESCA电子能谱仪,是一种以类似于荧光屏等的示波管为光源,通过样品上光子(光子能量约为1,500-16,000电子伏特)从而引起电荷电子反弹出,根据反弹角度能够分析样品中元素的种类和分布情况。 ...
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