近日,中科院上海光机所周常河课题组利用高密度等离子体刻蚀设备、半导体光刻工艺技术和激光全息技术,发展出石英玻璃深刻蚀技术,成功地在石英玻璃基底上加工出优化深度的亚波长光栅,实验证明其具有很高的偏振隔离度和衍射效率,是非常优良偏振分光器件。该器件具有使用寿命长,不易霉变,稳定、可靠,热稳定性好等显著优点。...
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