目前我们为了能测a试出晶圆表面这些超微量的金属离子当前大家使用的比较常见的技术手段一般为:VPD(Vapor Phase decomposition)化学气相分解)配合以下元素分析设备中的一种来实现: 1.TXRF(total reflection X-ray luorescence全反射X射线荧光光谱仪) TXRF因为是X射线作为荧光的激发源,所以对于某些轻金属元素像Na、Mg、Al等超微量存在的离子无法检测出来...
(1)固体块状样品 包括黑色金属、有色金属、电镀板、硅片、塑料制品及橡胶制品等,其中金属材料占了很大的比例。 (2)粉末样品 包括各种矿产品,水泥及其原材料,金属冶炼的原材料和副产品如铁矿石、煤、炉渣等;还有岩石土壤等。 (3)液体样品 油类产品、水质样品以及通过化学方法将固体转换成的溶液等。 4、X荧光光谱仪分析法中不同样品有不同的制样方法。...
、非接触、非破坏性及多元素分析等特点;然而X-光荧光分析仪分析的灵敏度受到试片基质散射效应及入射X-光与试片基座反应产生的制动幅射的限制,尔后逐渐发展出全反射X-光荧光分析仪,才大幅提高X-光荧光分析仪的灵敏度。 ...
(2)粉末样品包括各种矿产品,水泥及其原材料,金属冶炼的原材料和副产品如铁矿石、煤、炉渣等;还有岩石土壤等。 (3)液体样品油类产品、水质样品以及通过化学方法将固体转换成的溶液等。 4、X荧光光谱仪分析法中不同样品有不同的制样方法。金属样品如果大小形状合适,或者经过简单的切割达到X荧光光谱仪分析的要求,只需表面抛光,液体样品可以直接分析,大气尘埃通常收集在滤膜上直接进行分析。...
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